انقلاب در تولید نیمه‌رسانا با تحلیل گاز مبتنی بر هوش مصنوعی
انقلاب کنترل گاز مبتنی بر هوش مصنوعی در تولید نیمه‌رساناها
سیستم‌های پیشرفته تحلیل گاز اکنون به حساسیت 0.01ppm با زمان پاسخ 150ms دست یافته‌اند و این امکان را فراهم می‌آورد که تنظیمات فرآیند در حین رسوب‌گذاری لایه اتمی به‌صورت بلادرنگ انجام شود.
مزایای فناوری اصلی
تحلیل پیش‌بینی
مدل‌های یادگیری ماشین داده‌های حسگری 2.4TB/ساعت را پردازش می‌کنند تا روندهای خلوص گاز را با 94% دقت پیش‌بینی کنند.
نظارت بر چند گاز
تحلیل همزمان 18 گونه گازی شامل NH₃، SiH₄ و WF₆ با تداخل متقابل <0.8%.
معیارهای تأثیر تولید
42% کاهش در نقص‌های رشد اپیتاکسیال
57% چرخه های تعویض گاز سریعتر
0.12s تاخیر تشخیص ناهنجاری
99.98% ثبات کنترل کننده جریان جرمی
مطالعات موردی پیاده‌سازی
تولید سه بعدی NAND
به دست آورد 28% یکنواختی بالاتر در چیدمان عمودی از طریق کنترل غلظت SiH₂Cl₂ در زمان واقعی.
لیتوگرافی EUV
سطح H₂O را زیر نگه داشت 0.5ppb در حین پردازش فوتورزیست، کاهش خطاهای همپوشانی به 19%.
مشخصات فنی
محدوده فشار: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
محدوده دما: -70°C ~ 450°C
فاصله کالیبراسیون: 6,000 ساعت MTBC
مصرف برق: 18W @ 24VDC
برای اطلاعات بیشتر، موارد محبوب زیر را در Nex-Auto Technology. بررسی کنید.
| مدل | عنوان | ارتباط دادن |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | ماژول سرعت سنج | بیشتر بدانید |
| 3500/40-01-02 | مانیتور پروکسیمیتور | بیشتر بدانید |
| 3500/40-01-CN | مانیتور پروکسیمیتور | بیشتر بدانید |
| 3500/40-01-01 | مانیتور پروکسیمیتور | بیشتر بدانید |
| 3500/40M-01-00 | مانیتور پروکسیمیتور | بیشتر بدانید |
| 3500/40-01-00 | مانیتور پروکسیمیتور | بیشتر بدانید |
| 3500/40-03-00 | مانیتور پروکسیمیتور | بیشتر بدانید |
| 3500/40-03-02 | مانیتور پروکسیمیتور | بیشتر بدانید |
| 3500/40 125808-01 | ماژول I/O | بیشتر بدانید |
| 330930-045-02-00 | کابل فرمت استاندارد | بیشتر بدانید |
| 330930-045-02-05 | کابل پسوند NSV | بیشتر بدانید |
| 330930-045-03-00 | کابل فرمت | بیشتر بدانید |
| 330930-045-03-05 | کابل پسوند NSV | بیشتر بدانید |
| 330930-045-00-00 | کابل فرمت استاندارد | بیشتر بدانید |
| 330730-040-02-05 | کابل فرمت | بیشتر بدانید |