إحداث ثورة في تصنيع أشباه الموصلات من خلال تحليلات الغاز المدعومة بالذكاء الاصطناعي
ثورة التحكم في الغاز المدعوم بالذكاء الاصطناعي تُحدث تغييرًا جذريًا في صناعة أشباه الموصلات
تحقق أنظمة تحليل الغاز المتطورة الآن حساسية 0.01 جزء في المليون مع زمن استجابة 150 مللي ثانية، مما يمكّن من إجراء تعديلات في الوقت الحقيقي أثناء ترسيب الطبقات الذرية.
مزايا التكنولوجيا الأساسية
التحليلات التنبؤية
تقوم نماذج التعلم الآلي بمعالجة 2.4TB/ساعة من بيانات المستشعرات للتنبؤ باتجاهات نقاء الغاز بدقة 94%.
مراقبة متعددة الغازات
التحليل المتزامن لـ 18 نوعًا من الغازات بما في ذلك NH₃ و SiH₄ و WF₆ مع تداخل عرضي <0.8%.
مقاييس تأثير الإنتاج
42% تقليل في عيوب النمو الطبقي
57% دورات تبديل الغاز الأسرع
0.12s زمن تأخير اكتشاف الشذوذ
99.98% استقرار جهاز التحكم في تدفق الكتلة
دراسات حالة التنفيذ
إنتاج NAND ثلاثي الأبعاد
تم تحقيقه 28% تحقيق تجانس عمودي أعلى من خلال التحكم في تركيز SiH₂Cl₂ في الوقت الحقيقي.
الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية
الحفاظ على مستويات H₂O أقل من 0.5ppb أثناء معالجة الطلاء الضوئي، تقليل أخطاء التداخل بواسطة 19%.
المواصفات الفنية
نطاق الضغط: 10⁻⁶ ~ 760 تور
تحمل درجة الحرارة: -70°C ~ 450°C
فترة المعايرة: 6,000 ساعة MTBC
استهلاك الطاقة: 18W @ 24VDC
تحقق من العناصر الشائعة أدناه لمزيد من المعلومات في تكنولوجيا نكس أوتو.
| نموذج | عنوان | وصلة |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | وحدة مقياس سرعة الدوران | يتعلم أكثر |
| 3500/40-01-02 | مراقب القرب | يتعلم أكثر |
| 3500/40-01-CN | مراقب القرب | يتعلم أكثر |
| 3500/40-01-01 | مراقب القرب | يتعلم أكثر |
| 3500/40م-01-00 | مراقب القرب | يتعلم أكثر |
| 3500/40-01-00 | مراقب القرب | يتعلم أكثر |
| 3500/40-03-00 | مراقب القرب | يتعلم أكثر |
| 3500/40-03-02 | مراقب القرب | يتعلم أكثر |
| 3500/40 125808-01 | وحدة I / O | يتعلم أكثر |
| 330930-045-02-00 | كابل تمديد قياسي | يتعلم أكثر |
| 330930-045-02-05 | كابل تمديد NSV | يتعلم أكثر |
| 330930-045-03-00 | وصلة تمديد | يتعلم أكثر |
| 330930-045-03-05 | كابل تمديد NSV | يتعلم أكثر |
| 330930-045-00-00 | كابل تمديد قياسي | يتعلم أكثر |
| 330730-040-02-05 | وصلة تمديد | يتعلم أكثر |